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Think-Lands Co., Ltd.
レーザー加工形状のOCT計測実例
■石英ガラス上のレーザー加工形状の測定サンプル
石英に弊社のロゴをレーザー加工技術で掘り出したものを光学顕微鏡、レーザー顕微鏡、OCTで観察しました。
(a)は光学顕微鏡で撮影した画像でロゴが確認できます。
(b)、(d)はそれぞれレーザー顕微鏡とOCTで撮影した画像です。
またレーザー顕微鏡画像の赤い点線部のプロファイルが(c)、OCT画像の赤い点線部の断層画像が(e)になります。
レーザー顕微鏡のプロファイルでは加工痕の深さが分かりますが、OCTの断層画像で見られるようなマイクロクラックは確認できません。
OCTを使うことで、レーザー加工で開けた穴の半径や深さ、マイクロクラックの評価などが行えます。
■活用例
レーザー加工で多く使用される様々な材料に対応いたします。
・光学フィルム
・CFRP
・セラミックス
・金属
・半導体
・ガラス
・プラスチック など
▪活用例1
レーザー加工の品番切替時に人の目による検査に工数がかかる。
→レーザー加工後の寸法検査をOCTにより自動化することで工数削減を実現。
▪活用例2
カメラではレーザー加工形状の深さ方向の情報がわからない。
→OCTをレーザー加工機へアドオンし、深さを含めた加工形状のリアルタイム検査&制御へのフィードバック。
▪活用例3
レーザー顕微鏡では直角の止まり穴の深さ方向の計測が難しい。
→適切なアスペクト比の対物レンズを選定し、穴の半径・深さ、更に加工によるマイクロクラックを検出。
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