2.レーザー加工形状

レーザー加工形状のOCT計測実例

■石英ガラス上のレーザー加工形状の測定サンプル

石英に弊社のロゴをレーザー加工技術で掘り出したものを光学顕微鏡、レーザー顕微鏡、OCTで観察しました。

(a)は光学顕微鏡で撮影した画像でロゴが確認できます。

(b)、(d)はそれぞれレーザー顕微鏡とOCTで撮影した画像です。

またレーザー顕微鏡画像の赤い点線部のプロファイルが(c)、OCT画像の赤い点線部の断層画像が(e)になります。

レーザー顕微鏡のプロファイルでは加工痕の深さが分かりますが、OCTの断層画像で見られるようなマイクロクラックは確認できません。

OCTを使うことで、レーザー加工で開けた穴の半径や深さ、マイクロクラックの評価などが行えます。

■活用例

レーザー加工で多く使用される様々な材料に対応いたします。

・光学フィルム

・CFRP

・セラミックス

・金属

・半導体

・ガラス

・プラスチック など

▪活用例１

　レーザー加工の品番切替時に人の目による検査に工数がかかる。

→レーザー加工後の寸法検査をOCTにより自動化することで工数削減を実現。

▪活用例２

　カメラではレーザー加工形状の深さ方向の情報がわからない。

→OCTをレーザー加工機へアドオンし、深さを含めた加工形状のリアルタイム検査＆制御へのフィードバック。

▪活用例３

　レーザー顕微鏡では直角の止まり穴の深さ方向の計測が難しい。

→適切なアスペクト比の対物レンズを選定し、穴の半径・深さ、更に加工によるマイクロクラックを検出。